Hochflexible Ultraschallanlage für die prozesssichere Endreinigung von Mikrostrukturen

没有大于1µm的颗粒。

Die technologische Weiterentwicklung im Bereich Mikrostrukturen und die Bearbeitung größerer Substrate machten bei der POG Präzisionsoptik Gera ein neues Endreinigungssystem erforderlich. UCM AG的工厂概念令人信服. 这家公司, dass sowohl unbearbeitete Wafer als auch strukturierte und beschichtete Substrate gereinigt werden können. Die Sauberkeitsanforderung „没有大于1µm的颗粒。“ wird dabei prozesssicher erfüllt.

蔡司在基拉的工厂于1991年关闭。. 前高管决定, durch ein Management-Bayout die Tradition der Optikfertigung am Standort Gera zu erhalten und weiterzuentwickeln – die Geburtsstunde der POG Präzisionsoptik Gera GmbH. 该公司目前有140名员工。. 他们开发和生产定制的产品。, präzisionsoptische零件, 全光谱组件和设备. 这些产品来自世界各地的机械制造客户。, 《Messtechnik, 工业Bildverarbeitung, 医疗和激光技术, 用于半导体工业和航空航天. Andererseits hat sich das Unternehmen als Hersteller standardisierter und kundenspezifischer optischer Mikrostrukturen, 比如Strichplatten, Skalenscheiben, USAF-Testtargets, 微盲和校准标准, 在国际上成名. In diesem Bereich kann POG den gesamten Entwicklungs- und Fertigungsprozess ebenfalls im Haus durchführen. „Die Fertigung der Mikrostrukturen haben wir vor kurzem hinsichtlich der technologischen Möglichkeiten und der Größe der bearbeitbaren Substrate ausgebaut. 这也需要一个新的最终清洁系统。”, Jan Schubach报道, POG的总经理.

要求最高纯度

Hergestellt werden die optischen Mikrostrukturen überwiegend aus dem Glas B 270 und aus Quarzglas sowie aus keramischen und glaskeramischen Werkstoffen. 一个Endreinigung, 穿过尘土, feinste Reste von Poliermitteln und Fingerabdrücke entfernt werden müssen, erfolgt sowohl bei den unbehandelten Substraten als auch nach der Strukturierung und der Beschichtung. Da auf die Substrate teilweise Strukturen von nur 2 µm aufgebracht werden, 有洁净度要求:颗粒不大于1µm. Eine Lösung für diese sehr anspruchsvollen Reinigungsaufgaben hat POG gemeinsam mit einem externen Berater entwickelt und mit verschiedenen Anlagenherstellern besprochen.

一个灵活的清洁系统，而不是几个专门的清洁系统

„Es handelte sich dabei um unterschiedliche Reinigungskonzepte für spezielle Anwendungen wie beispielsweise die Maskenreinigung oder die Reinigung einer bestimmten Substratkonfiguration in der Halbleiterindustrie. Um unsere Aufgaben zu erfüllen, hätten wir vermutlich drei verschiedene Anlagen benötigt. 因此，我们求助于UCM。. Von diesem Anlagenhersteller haben wir bereits ein Reinigungssystem im Haus und auch unser Berater hatte aus anderen Projekten gute Erfahrungen mit dem Unternehmen“, Jan Schubach解释道. Gemeinsam mit POG und dem Berater überarbeitete die schweizerische UCM AG, 生态清洁集团公司, 他们的系统概念，并使其适应. „UCM ist dabei sehr flexibel auf unsere Vorschläge eingegangen und hat die eigenen umfangreichen Erfahrungen im Bau von Reinigungsanlagen für den Optikbereich eingebracht“, 首席执行官记得.

Die Ultraschallreinigungsanlage verfügt über insgesamt elf Stationen, davon sind sieben Tauchbecken. 它们是为以下工艺步骤而设计的:, 多频超声波清洗(40和80千赫), 用Megasch清洁, 冲水, Feinspülen, 红外干燥通过同步输送带和卸料.

Die Nassbeladung sowie alle Reinigungs- und Spülprozesse werden mit VE (vollentsalztem)-Wasser durchgeführt. Je nach Reinigungsprogramm wird das Wasser der 冲水 in Kaskade geführt, 被丢弃或单独处理. 这有助于高质量的清洁, 以及UCM开发的所有盆地的四边溢出。. Das Reinigungs- beziehungsweise Spülmedium wird von unten in die Wannen eingebracht, 然后从四面八方穿过. Dadurch werden abgereinigte Kontaminationen sofort aus den Becken ausgetragen. Dies verhindert zum einen eine Rückkontamination der Teile beim Herausnehmen sowie die Bildung von Schmutznestern in den Becken. 其次，基质被密集而均匀地处理。.

另一个特别的特点是水槽。. Hier wird das Wasser mit so hohem Druck in das Becken gepumpt, dass sich Turbulenzen bilden. 这些，加上货物的流动，目前已经足够了。, 在没有超声波辅助的情况下冲洗基材. Um auf zukünftige höhere Anforderungen schnell und einfach reagieren zu können, wurden eine spätere Integration von Ultraschall anlagen- und steuerungstechnisch vorbereitet.

洁净室的全自动清洗过程

清洁系统集成在一个清洁房间里. 要清洗的, bis zehn Zoll großen Substrate werden in speziellen Kassetten manuell in die Transportgestelle der Anlage eingesetzt. Der Mitarbeiter wählt dann das entsprechende teilespezifische Reinigungsprogramm aus. 它存储在工厂控制系统中，包括, welche Stationen jeweils angefahren werden und die Behandlungsparameter in den einzelnen Becken wie beispielsweise Leistung und Frequenz des Ultraschalls sowie Verweilzeit. Damit die definierte Behandlungsdauer in der jeweiligen Station exakt eingehalten wird, ermöglicht die flexible Steuerung die Eingabe von „priorisierten Zeiten“. „Wir arbeiten momentan mit zehn Programmen für die unterschiedlichen Substrate und erzielen bei allen Reinigungsaufgaben hervorragende Ergebnisse, 从一开始. Das Reinigungssystem arbeitet seit der Übergabe im März 2015 einwandfrei. Auch die bei so komplexen Anlagen sonst üblichen Kinderkrankheiten sind nicht aufgetreten“, Jan Schubach满意地报道.

作者:多丽丝·舒尔茨